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近年來國內對過程控制行業(yè)節(jié)能環(huán)保的要求不斷提高，越來越多的指標，已經從粗略估算發(fā)展到需要定量分析，很多原料、排量需要得到高精度的計量與控制。適用于多種應用場合的氣體質量流量控制器是高校科研院所和廣泛的工業(yè)過程自動化控制中不可缺少的設備。

氣體質量流量控制器是通過調節(jié)閥門大小開度來進行控制氣體流量大小的專用閥門，用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度，進而影響整機分析結果的準確性和可靠性，為此監(jiān)測氣體質量流量控制器中的流量變化十分有必要。

作為工業(yè)計量中重要的元器件，氣體質量流量計/控制器目前仍以進口為主，國產化替代需求迫切。不同于傳統(tǒng)的差壓、渦街等原理的體積型流量計，MEMS氣體質量流量計是采用熱擴散原理進行高精確測量，即使是微小氣體也能精確測量，在全球被廣泛使用。為此IST流量傳感器在MFC中的應用工采網推薦瑞士IST 質量流量傳感器 - FS5.0.1L.195的升級版IST-AG FS7流量傳感器。




FS5.0.1L.195是一個熱質流量傳感器,用于各種氣流應用.熱質流量傳感器使用熱傳遞原則,確定流體的流率.隨著流體通過傳感器,熱質由傳感器傳遞到媒體.此關序取決于流動速率.隨著流動增加,熱量被傳遞.通過了解媒體的溫度,即可通過為保持恒定溫度差的電壓補償量得出流速。

而相對于FS5.0.1L.195而言IST-AG FS7流量傳感器寬廣的測量范圍允許將傳感器直接置于被測氣路當中，免去復雜的旁路設計。傳感器具有陶瓷基底與鈍化玻璃層進行保護，具有良好的長期穩(wěn)定性。關于氣體質量流量控制器中流量傳感器的應用可參考《在質量流量控制器的應用中IST流量傳感器的作用》一文。